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美国纳米级激光三角反射位移传感器

美国纳米级激光三角反射位移传感器 NanoGage 100纳米级激光三角反射位移传感器：传感器结构：传感器头：最大直径15.7mm，安装面处直径12.7mm，长58.7mm；电缆长460mm；控制器尺寸98x32x13mm，输出9针插座。特点：－高分辨率，可替代电容式传感器；－对电磁场不敏感，可用于电机等强磁场测振；－宽频带，可测高频振动体；－对被测体表面要求低，反射率4～100％均能用；指标：量程：100µm；量程间距3mm；分辨率：15nm；重复性：±75nm；没修正线性误差：±5µm；带宽：100KHZ；供电：±12VDC