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AF激光散斑微位移传感器量程1.5mm 分辨率10nm 线性0.2µm 重复性10nm 测量间隙2mm 光源半导体激光器,780nm 激光等级1 光斑直径1.9µm 测量垂直度90º±25º 响应16HZ~10KHZ 速度60mm/s 输出/数据接口RS232
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